中国自主研发的E光刻机采用激光诱导放电等离子体(LDP)技术正在测试，激光诱导放电等离子体（LDP）极紫外（EUV）技术商业化的推进，激光诱导放电等离子体(LDP)EUV生成商业化推动是光刻技术的DeepSeek时刻。

LDP与阿斯麦LPP技术比较

1.LDP比阿斯麦所采用的激光产生等离子体（LPP）技术效率要高得多，
2.LDP将少量锡气化成两个电极之间的一团云雾，然后利用高电压将锡蒸气转化为等离子体。电子与锡离子碰撞，产生13.5纳米的极紫外光。而LPP需要高能激光和复杂的现场可编程门阵列（FPGA）实时控制电子设备。

3.LDP方法更简单、更小巧、更具成本效益，且能源效率更高。